一种漏斗型Pocket结构的载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Pocket的截面为漏斗状，Pocket内用于放置电池片，电池片和载板构成线接触结构，其消除镀膜电池片表面EL黑点，避免载板在自动化放片和取片过程中，将电池片放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片飞出Pocket，减少电池片与载板的直接接触面积，且避免自动化放片不稳定，避免放不正导致的镀膜均匀性受影响，改善电池片镀膜均匀性，提高电池片的转换效率和良率。

【技术实现步骤摘要】
一种漏斗型Pocket结构的载板
本技术涉及PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强型化学气相沉积法)板式炉碳纤维载板
，特别是涉及一种漏斗型Pocket(口袋)结构的载板。
技术介绍
目前，碳纤维载板是一种在PECVD板式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片，表面采用等离子体增强型化学气相沉积法进行镀膜的承载工具。现有的典型的高效电池需要镀双面膜，即电池片的正面和反面均要进行一次镀膜工艺，这对承载电池片镀膜的载板提出了更高的要求，因为传统的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，这些不良严重影响了电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加了电池片的生产成本，对企业的发展有不利的影响。公开号为CN103602960A，名称为“板式PECVD镀膜载板”的中国专利技术专利文献公开了一种板式PECVD镀膜载板，其载板基体与挂钩间固定过渡平台，本专利技术通过在挂钩处的硅片与载板基体之间设置了一个平台，其虽然能够改变硅片边缘的色差问题，但是其却存在承载方式表面和载板的接触面积较大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片(2)的载板(1)，其特征在于，载板(1)上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket(3)，每个Pocket(3)中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket(3)包括直线部分(301)和曲面部分(302)，Pocket(3)的截面为漏斗状，Pocket(3)内用于放置电池片(2)，电池片(2)和载板(1)构成线接触结构。

【技术特征摘要】
1.一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片(2)的载板(1)，其特征在于，载板(1)上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket(3)，每个Pocket(3)中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket(3)包括直线部分(301)和曲面部分(302)，Pocket(3)的截面为漏斗状，Pocket(3)内用于放置电池片(2)，电池片(2)和载板(1)构成线接触结构。2.如权利要求1所述的漏斗型Pocket结构的载板，其特征在于，Pocket(3)的外框尺寸根据电池片的尺寸设置。3.如权利要求2所述的漏斗型Pocket结构的载板，其特征在于，Pocket(3)的外框尺寸为158×158mm-162×162mm。4.如权利要求2所述的漏斗型Pocket结构的载板，其特征在于，Pocket(3)的内框尺寸根据实验确认没有绕镀现象的尺寸设置。5.如权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李高峰，詹国彬，
申请(专利权)人：上海东洋炭素有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31