一种漏斗型Pocket结构的载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Pocket的截面为漏斗状，Pocket内用于放置电池片，电池片和载板构成线接触结构，其消除镀膜电池片表面EL黑点，避免载板在自动化放片和取片过程中，将电池片放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片飞出Pocket，减少电池片与载板的直接接触面积，且避免自动化放片不稳定，避免放不正导致的镀膜均匀性受影响，改善电池片镀膜均匀性，提高电池片的转换效率和良率。

【技术实现步骤摘要】
一种漏斗型Pocket结构的载板
本技术涉及PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强型化学气相沉积法)板式炉碳纤维载板
，特别是涉及一种漏斗型Pocket(口袋)结构的载板。
技术介绍
目前，碳纤维载板是一种在PECVD板式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片，表面采用等离子体增强型化学气相沉积法进行镀膜的承载工具。现有的典型的高效电池需要镀双面膜，即电池片的正面和反面均要进行一次镀膜工艺，这对承载电池片镀膜的载板提出了更高的要求，因为传统的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，这些不良严重影响了电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加了电池片的生产成本，对企业的发展有不利的影响。公开号为CN103602960A，名称为“板式PECVD镀膜载板”的中国专利技术专利文献公开了一种板式PECVD镀膜载板，其载板基体与挂钩间固定过渡平台，本专利技术通过在挂钩处的硅片与载板基体之间设置了一个平台，其虽然能够改变硅片边缘的色差问题，但是其却存在承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题。公开号为CN104465465A，名称为“一种用于板式PECVD的石墨载板”的中国专利技术专利文献公开了一种用于板式PECVD的石墨载板，其上设有多格硅片承载区，每格硅片承载区为156mm×156mm的结构，每格硅片承载区的两个竖边上各设有2个钩针、两个横边上各设有2个档针，钩针、档针分别沿各边中点对称设置，每条边上的两个钩针/档针之间的距离为75～98mm。其虽然能够实现多种规格硅片的承载，但是其同样存在承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种漏斗型Pocket结构的载板，用以解决现有技术所存在的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题。为实现上述目的，本技术提供一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Pocket的截面为漏斗状，Pocket内用于放置电池片，电池片和载板构成线接触结构。可选地，Pocket的外框尺寸根据电池片的尺寸设置。可选地，Pocket的外框尺寸为158×158mm-162×162mm。可选地，Pocket的内框尺寸根据实验确认没有绕镀现象的尺寸设置。可选地，Pocket的内框尺寸为146×146mm-158×158mm。可选地，Pocket的直线部分的深度尺寸通过实验评估镀膜效果后设置。可选地，Pocket的直线部分的深度尺寸为0.6-1.3mm。可选地，Pocket的曲面部分通过模拟自动化放片，同时参考镀膜效果后设置。可选地，Pocket的曲面部分的高度差为0.8-2.5mm。可选地，Pocket的曲面部分的曲面半径为80-200mm。本技术具有如下优点：本技术的漏斗型Pocket结构的载板，能够解决现有技术所存在的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题，其在保证消除了镀膜电池片表面EL黑点的基础上，解决载板在自动化放片和取片过程中，很容易将电池片放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片飞出Pocket等问题，减少电池片与载板的直接接触面积，同时解决了由于接触面积减少，带来的自动化放片不稳定，使电池片在Pocket内放不正导致的镀膜均匀性受到影响的问题，其最终改善了电池片镀膜均匀性，提高了电池片的转换效率和良率。附图说明图1为本技术的漏斗型Pocket结构的载板的整体示意图；图2为本技术的漏斗型Pocket结构的Pocket结构整体示意图；图3为本技术的漏斗型Pocket结构的Pocket结构剖面示意图；图4为本技术的漏斗型Pocket结构的Pocket结构载片剖面示意图。图中，1为载板，2为电池片，3为Pocket，301为直面部分，302为曲面部分。具体实施方式以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。实施例1一种漏斗型Pocket结构的载板，参见图1，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片2的载板1，载板1上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket3，参见图2，每个Pocket3中分别设置有平滑曲面台阶，参见图3，Pocket3包括直线部分301和曲面部分302，Pocket3的截面为漏斗状，参见图4，Pocket3内用于放置电池片2，电池片2和载板1构成线接触结构。可见，本实施例的漏斗型Pocket结构的载板，其通过采用曲面台阶的Pocket3结构的载板1，保证消除了镀膜电池片2表面EL黑点的基础上，解决载板在自动化放片和取片过程中，很容易将电池片2放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片2飞出Pocket3等问题，最终改善了电池片2镀膜均匀性，提高了电池片2的转换效率和良率。其减少电池片2与载板1的直接接触面积，使电池片2和载板1基材的接触为线接触，同时解决了由于接触面积减少，带来的自动化放片不稳定，使电池片2在Pocket3内放不正导致的镀膜均匀性受到影响的问题，降低电池片2生产成本。实施例2一种漏斗型Pocket结构的载板，与实施例1相似，所不同的是，Pocket3的外框尺寸根据电池片的尺寸设置。优选的，Pocket3的外框尺寸为158×158mm-162×162mm。优选的，Pocket3的内框尺寸根据实验确认没有绕镀现象的尺寸设置。优选的，Pocket3的内框尺寸为146×146mm-158×158mm。实施例3一种漏斗型Pocket结构的载板，与实施例2相似，所不同的是，Pocket3的直线部分301的深度尺寸通过实验评估镀膜效果后设置。优选的，Pocket3的直线部分301的深度尺寸为0.6-1.3mm。优选的，Pocket3的曲面部分302通过模拟自动化放片，同时参考镀膜效果后设置。优选的，Pocket3的曲面部分302的高度差为0.8-2.5mm。实施例4一种漏斗型Pocket结构的载板，与实施例3相似，所不同的是，Pocket3的曲面部分302的曲面半径为80-200mm。实施例5一种漏斗型Pocket结构的载板，其用于太阳能电池生产线PECVD工艺环节板式炉，包括二十四个承载电池片2的Pocket3，每个Pocket3中放置一片电池片2，Pocket3的外框尺寸是根据电池片2的尺寸设计确定，内框尺寸是经过实验确认没有绕镀现象的最佳尺寸。本具体实施例的Pocket3的外框尺寸为158×158mm，内框尺寸为152×152mm，可以承载156×本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片(2)的载板(1)，其特征在于，载板(1)上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket(3)，每个Pocket(3)中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket(3)包括直线部分(301)和曲面部分(302)，Pocket(3)的截面为漏斗状，Pocket(3)内用于放置电池片(2)，电池片(2)和载板(1)构成线接触结构。

【技术特征摘要】
1.一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片(2)的载板(1)，其特征在于，载板(1)上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket(3)，每个Pocket(3)中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket(3)包括直线部分(301)和曲面部分(302)，Pocket(3)的截面为漏斗状，Pocket(3)内用于放置电池片(2)，电池片(2)和载板(1)构成线接触结构。2.如权利要求1所述的漏斗型Pocket结构的载板，其特征在于，Pocket(3)的外框尺寸根据电池片的尺寸设置。3.如权利要求2所述的漏斗型Pocket结构的载板，其特征在于，Pocket(3)的外框尺寸为158×158mm-162×162mm。4.如权利要求2所述的漏斗型Pocket结构的载板，其特征在于，Pocket(3)的内框尺寸根据实验确认没有绕镀现象的尺寸设置。5.如权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李高峰，詹国彬，
申请(专利权)人：上海东洋炭素有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31