下载一种MOS型器件及其制造方法的技术资料

文档序号:17658165

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本发明公开了一种MOS型器件及其制造方法,该MOS器件包括外延层,位于外延层上方的台面,位于外延层上方并分布于台面两侧的阱区域,刻蚀阱区域得到槽区域,在所得槽区域内外延生长得到源区域,在台面上方依次生长栅氧化层和栅极,在阱区域上方设置源极,...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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