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一种晶圆盘定位装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆盘定位装置的技术资料
文档序号:17657917
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本发明公开了一种晶圆盘定位装置,包括支撑架和用于定位晶圆盘的定位块,支撑架内侧定位面的横截面的中心为定位中心,定位面用于与校准装置定位贴合连接,在定位状态下定位中心与校准装置的中心重合;定位块设于支撑架的上端面,定位块至少有两个且每个定位块...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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