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本发明提供一种姿势变更装置，其将基板的姿势从水平姿势和垂直姿势中的一种姿势变更为另一种姿势。在姿势变更装置中，在垂直保持部和推动器之间进行基板的交接前，控制部基于基板的翘曲状态来控制保持部移动机构，从而使厚度方向上的水平保持部的位置相对于垂...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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