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本发明揭示了一种测试方法。本发明提供的测试方法，在进行测试时，通过基准单元获得一基准夹断电压；通过所述测试单元获得测试夹断电压，依据所述测试夹断电压与所述基准夹断电压的大小判断所述第二外延层在形成时的温度情况。由此，能够直观的检测到外延层在...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。