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本发明涉及一种照明均匀性校正装置、校正方法以及一种曝光投影系统，校正装置包括可变遮光校正装置，包括若干设置在照明光束横截面的校正组件对，若干校正组件对沿非扫描方向间隔排列设置以覆盖整个照明场，沿扫描方向重叠设置以覆盖整个照明场；可变灰度补偿...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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