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一种基于电容感知的集成微型六维力传感器制造技术
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文档序号:17651995
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一种集成电容微型六维力传感器,其包括力加载平台、弹性体、基座、保护罩、平行板电容PCB以及相应的电容值数据采集电路,其中力加载平台与弹性体固连,两块平行板电容PCB分别固定在弹性体和基座上,弹性体与基座之间通过定位槽进行定位,弹性体与基座之...
该专利属于燕山大学所有,仅供学习研究参考,未经过燕山大学授权不得商用。
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