下载在衬底上生长GaN平面纳米线的方法的技术资料

文档序号:17646929

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本发明提供一种在衬底上生长GaN平面纳米线的方法,包括如下步骤:步骤1:将衬底放入有机溶液中超声清洗;步骤2:在清洗的衬底上蒸镀一层金属薄膜;步骤3:把蒸镀有金属薄膜的衬底倒立放在反应炉的托盘上,在衬底与托盘之间形成狭缝;步骤4:提升反应炉...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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