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驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人制造方法及图纸
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文档序号:17617626
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本发明提供驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人,即便多个动力产生装置、振动体中的一部分发生了故障,它们也能够使驱动装置进行动作。一种驱动装置,其特征在于,具备接收电力的供给并产生动力的多个动力产生装置,所述多个动力产生装置构成两...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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