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非对称电压放电管及其制造方法技术
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文档序号:17616706
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本发明涉及一种非对称电压放电管及其制造方法。该制造方法包括:氧化、光刻、离子注入、硼扩散、磷扩散、台面腐蚀、玻璃钝化、金属蒸发、电参数测试、封装等工序。其中,在离子注入工序中,分别由半导体晶片的正反面向半导体晶片内注入不同剂量的离子源,并将...
该专利属于青岛东浩软件科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛东浩软件科技有限公司授权不得商用。
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