下载非对称电压放电管及其制造方法的技术资料

文档序号:17616706

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种非对称电压放电管及其制造方法。该制造方法包括:氧化、光刻、离子注入、硼扩散、磷扩散、台面腐蚀、玻璃钝化、金属蒸发、电参数测试、封装等工序。其中,在离子注入工序中,分别由半导体晶片的正反面向半导体晶片内注入不同剂量的离子源,并将...
该专利属于青岛东浩软件科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛东浩软件科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。