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本发明提供光致抗蚀剂显影液组合物及光致抗蚀剂图案形成方法，所述光致抗蚀剂显影液组合物包含下述化学式I的化合物、非离子性表面活性剂、碱性化合物和水。本发明的光致抗蚀剂显影液组合物的经时稳定性和显影力优异，且消泡功能优异。所述化学式I中，R1和...
该专利属于东友精细化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。

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