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本发明为锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法。在使用特定结构的锍盐作为PAG时，抑制了酸扩散。在通过光刻法加工时，包括所述锍盐的抗蚀剂组合物形成具有改进的光刻性质(包括EL、MEF和LWR)的图案。...
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