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半导体空腔的临时机械稳定制造技术
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下载半导体空腔的临时机械稳定的技术资料
文档序号:17609492
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一种用于制作电子器件的方法包括:提供半导体晶片;在所述半导体晶片中形成多个空腔;将稳定化材料填充到所述空腔中;通过将盖片施加在所述半导体晶片上来制作临时面板,所述盖片覆盖所述空腔;将所述临时面板单个化地分割成多个半导体器件;通过将所述半导体...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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