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本发明提供一种靶材组件的加工方法，包括：提供具有待加工面的靶坯；采用砂带对待加工面进行自动抛光处理以形成溅射面。本发明采用砂带对待加工面进行自动抛光处理以形成溅射面，一方面，相比砂纸，砂带的尺寸更大，因此砂带与待加工面的接触面积更大，为了完...
该专利属于合肥江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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