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本发明提供脆性材料基板的断开方法及断开装置，其中利用了使激光束产生像差并聚焦后的像差激光束以及断开用激光束。使包括脉冲激光束的突发脉冲的激光束(L1)透过用于产生像差的像差生成透镜(4c)，生成为像差激光束(L2)，沿脆性材料基板(W)的预...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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