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本发明目的是提供一种对构成金属包层型偏光元件的金属膜的氧化、制造工艺的后续工序中的刻蚀进行抑制，从而光学特性优异的光波导器件及其制造方法。一种光波导器件，具有：基板（1），具有电光学效果；光波导（2），形成在该基板上；金属包层型偏光元件（3...
该专利属于住友大阪水泥股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过住友大阪水泥股份有限公司授权不得商用。

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