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阵列基板及其制作方法技术
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文档序号:17599803
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本发明公开一种阵列基板及其制作方法。阵列基板包括在基底上设置有间隔预定距离且并列设置的第一薄膜晶体管与第二薄膜晶体管。所述第一薄膜晶体管包括依次叠设置在所述基底上的第一有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、层间绝缘层以及第一源极/漏极,所述第一...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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