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本发明提供能够使掩模图案截面形状的垂直化的光掩模坯料及其制造方法。本发明还提供使用其的光掩模的制造方法及显示装置的制造方法。本发明的光掩模坯料具有透明基板(1)、遮光层(2)和减反射层(3)，遮光层(2)由含有铬和氮的铬化合物形成，减反射层...该专利属于HOYA株式会社;HOYA电子马来西亚有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过HOYA株式会社;HOYA电子马来西亚有限公司授权不得商用。