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本实用新型公开了一种气相可控型多晶硅还原炉，包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，所述反应器内腔中设有多个电极，所述电极按规律布置在所述底盘上，所述底盘下设有双层进气系统和排气系统，所述炉体顶部设有预热系统，所...
该专利属于上海韵申新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海韵申新能源科技有限公司授权不得商用。

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