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本实用新型涉及一种用于CVD设备的过滤装置，CVD设备具有反应室，过滤装置包括进气管、过滤器单元、出气管和真空泵，进气管的一端与反应室相连，出气管的一端与过滤器单元的出气口相连、另一端与真空泵相连，过滤装置还包括具有内腔的沉积桶，沉积桶的进...
该专利属于苏州汉德曼精密制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉德曼精密制造有限公司授权不得商用。

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