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在检查装置中，提高元件的电气特性的测定精度。检查装置包括：保持台(32)；一对测定件(34、36)，能够把持被该保持台(32)保持的元件(s)来测定电气特性；及相对移动装置，使保持台(32)与一对测定件(34、36)彼此地相对移动。在元件(...
该专利属于富士机械制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。

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