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本发明涉及一种等离子体发生器（1），该等离子体发生器具有：压电变压器（2）、离子分离电极（7）和操控电路（8），该压电变压器适合用于过程气体的离子化，该操控电路适合用于施加电位到该离子分离电极（7）上。此外，本发明涉及一种用于调节在由等离子...
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