等离子体发生器和用于调节离子比例的方法技术

本发明专利技术涉及一种等离子体发生器（1），该等离子体发生器具有：压电变压器（2）、离子分离电极（7）和操控电路（8），该压电变压器适合用于过程气体的离子化，该操控电路适合用于施加电位到该离子分离电极（7）上。此外，本发明专利技术涉及一种用于调节在由等离子体发生器（1）所产生的等离子体中的正离子与负离子的比例的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体发生器和用于调节离子比例的方法
本专利技术涉及一种等离子体发生器和一种用于调节由在等离子体发生器所产生的等离子体中的正离子与负离子的比例的方法。在此，将在等离子体中的正离子数目相对于负离子数目的比例称作正离子与负离子的比例。在此考虑在等离子体发生器的过程气体输出端上所输出的等离子体射束。
技术介绍
在压电变压器中，由压电变压器的功能原理决定地，借助正弦形的输出电压产生等离子体。在此，在压电变压器上产生的输出电压的上升边沿和下降边沿的陡度相同。过程气体中正离子与负离子的产生大部分取决于这些边沿的陡度。基于压电变压器的该功能原理，可以不同地设计这些边沿的陡度。因此，针对于过程气体的预给定的组分来确定在由压电变压器产生的等离子体中的正离子与负离子的比例。然而，存在大气的、非热的等离子体的众多应用，在这些应用中，对正离子与负离子的确定比例的可调节性是有利的。例如以下应用属于此：在这些应用中，大气的、非热的等离子体被用于净化水。
技术实现思路
因此，本专利技术的任务是，在借助压电变压器来产生等离子体的情况下能够实现：以所期望的方式调节正离子与负离子的比例。该任务通过根据当前权利要求1所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体发生器（1），所述等离子体发生器具有：压电变压器（2），所述压电变压器适合用于过程气体的离子化；离子分离电极（7），和操控电路（8），所述操控电路适合用于施加电位到所述离子分离电极（7）上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.18 DE 102015113656.21.一种等离子体发生器（1），所述等离子体发生器具有：压电变压器（2），所述压电变压器适合用于过程气体的离子化；离子分离电极（7），和操控电路（8），所述操控电路适合用于施加电位到所述离子分离电极（7）上。2.根据权利要求1所述的等离子体发生器（1），其中，所述等离子体发生器（1）适合用于由过程气体流过，其中，所述过程气体被所述压电变压器（2）离子化并且接着被引导通过所述离子分离电极（7）。3.根据以上权利要求中任一项所述的等离子体发生器（1），其中，在所述离子分离电极（7）上存在的电位确定在由所述等离子体发生器（1）所产生的等离子体中的正离子与负离子的比例。4.根据以上权利要求中任一项所述的等离子体发生器（1），所述等离子体发生器具有管（4），所述管将过程气体输入端（5）与过程气体输出端（6）连接，其中，在所述管（4）中布置有所述压电变压器（2）和所述离子分离电极（7），其中，所述离子分离电极（7）被布置在所述压电变压器（2）和所述过程气体输出端（6）之间。5.根据以上权利要求中任一项所述的等离子体发生器（1），其中，所述操控电路（8）能够如此被调节，使得在所述离子分离电极（7）上存在的电位能够改变。6.根据以上权利要求中任一项所述的等离子体发生器（1），其中，所述操控电路（8）具有适合用于产生输出交流电压的变压器（9）和用于对所述输出交流电压进行整流和平滑的电路（10），其中，所述用于对所述输出交流电压进行整流和平滑的电路（10）与所述离子分离电极（7）连接。7.根据以上权利要求中任一项所述的等离子体发生器（1），其中，所述离子分离电...

【专利技术属性】
技术研发人员：M魏尔古尼，M普夫，
申请(专利权)人：埃普科斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE