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本发明涉及空心阴极等离子体源和用于使用这样的等离子体源进行表面处理或涂覆的方法，空心阴极等离子体源包括第一和第二电极(1、2)，每个电极包括细长腔(4)，其中选择下面的参数中的至少一个的尺度，以便确保高电子密度和/或等离子体源腔表面的低溅射...该专利属于AGC玻璃欧洲公司;北美AGC平板玻璃公司;旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AGC玻璃欧洲公司;北美AGC平板玻璃公司;旭硝子株式会社授权不得商用。