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第一MEMS马达和第二MEMS马达共享公共后腔容积和公共支承结构，并且所述公共支承结构被构造成支承第一振膜和第一背板，并且所述公共支承结构还被构造成支承第二振膜和第二背板。通道穿过所述公共支承结构并与外部环境连通，该通道具有第一直径，所述通...
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