下载吸热元件及包括该吸热元件的半导体装置以及吸热元件的制造方法的技术资料

文档序号:17574226

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就经由作为电绝缘体的热传导层(15)与半导体元件主体部(10)的表面热连接的珀耳帖型薄膜状的吸热元件部(20)而言,构成该吸热元件部(20)的物质的体热传导系数在50W/mK以上、塞贝克系数在300μV/K以上。...
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