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吸热元件及包括该吸热元件的半导体装置以及吸热元件的制造方法制造方法及图纸
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下载吸热元件及包括该吸热元件的半导体装置以及吸热元件的制造方法的技术资料
文档序号:17574226
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就经由作为电绝缘体的热传导层(15)与半导体元件主体部(10)的表面热连接的珀耳帖型薄膜状的吸热元件部(20)而言,构成该吸热元件部(20)的物质的体热传导系数在50W/mK以上、塞贝克系数在300μV/K以上。...
该专利属于马自达汽车株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过马自达汽车株式会社授权不得商用。
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