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独立3D堆叠制造技术
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文档序号:17574078
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描述了封装和3D管芯堆叠工艺。在实施方案中,一种封装包括混合键合到第一封装级的第二级管芯,第一封装级包括封装于氧化物层中的第一级管芯,以及通过氧化物层延伸的多个过氧化物通孔(TOV)。在实施方案中,所述TOV和所述第一级管芯具有大约20微米...
该专利属于苹果公司所有,仅供学习研究参考,未经过苹果公司授权不得商用。
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