温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

工作台装置包括对工作台施加第1轴线方向上的力的第1驱动装置和对工作台施加第2轴线方向上的力的第2驱动装置。第1驱动装置具有：第1驱动器，其能产生用于使工作台沿第1轴线方向移动的动力；以及第1可动构件，其通过第1驱动器的工作而沿着与第1轴线平...
该专利属于日本精工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本精工株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。