下载用于预固定衬底的方法和装置的技术资料

文档序号:17574038

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本发明涉及一种用于预固定衬底(1、2)的方法和装置,其中在至少一个表面区域中非晶化所述衬底(1、2)的至少一个衬底表面(1o、2o),其特征在于,所述衬底(1、2)被定向且接着在所述经非晶化的表面区域处接触并且预固定。...
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