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用于预固定衬底的方法和装置制造方法及图纸
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下载用于预固定衬底的方法和装置的技术资料
文档序号:17574038
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本发明涉及一种用于预固定衬底(1、2)的方法和装置,其中在至少一个表面区域中非晶化所述衬底(1、2)的至少一个衬底表面(1o、2o),其特征在于,所述衬底(1、2)被定向且接着在所述经非晶化的表面区域处接触并且预固定。...
该专利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过EV集团E·索尔纳有限责任公司授权不得商用。
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