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转速传感器和转速传感器在不同频率和沿不同方向的运行制造技术
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文档序号:17572079
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提出一种转速传感器,其具有带有主延伸平面的衬底和相对于衬底可运动的结构,其中,所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向的第一轴线基本上平行地偏移的第一激励单元,使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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