转速传感器和转速传感器在不同频率和沿不同方向的运行制造技术

提出一种转速传感器，其具有带有主延伸平面的衬底和相对于衬底可运动的结构，其中，所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向的第一轴线基本上平行地偏移的第一激励单元，使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第一轴线的方向的运动分量在第一频率振动，其中，所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向并且垂直于所述第一轴线走向的第二轴线基本上平行地偏移的第二激励单元，使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第二轴线的方向的运动分量在第二频率振动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】转速传感器和转速传感器在不同频率和沿不同方向的运行
本专利技术涉及一种根据权利要求1前序部分所述的转速传感器。
技术介绍
这种转速传感器是普遍已知的。这些转速传感器通常包括至少一个结构，所述至少一个结构沿着确定的驱动方向以确定的频率和确定的幅度振动。为了能够实现对围绕不同转动轴线的转速的探测，通常在已知的转速传感器中使多个分开的并且可处于线性振动的结构相互耦合。在这里，通常每个结构分别负责围绕确定的转动轴线的转速的探测。这意味着，对于多通道式转速传感器、即对于可以测量分别围绕彼此垂直的轴线的多个转速的转速传感器而言，用于微机械结构所需要的衬底面积相应地随着以下转动轴线的数量提升，应该围绕这些转动轴线来探测转速。
技术实现思路
根据本专利技术的转速传感器和用于运行根据并列权利要求所述的转速传感器的根据本专利技术的方法相对于现有技术具有以下优点：能够实现在相对于现有技术小的衬底面上的多通道式转速传感器，因为对于微机械结构仅需要一个相对于现有技术小的衬底面用于探测围绕多个转动轴线的转速。此处，取消用于探测分别围绕多个转动轴线的多个转速的多个结构的使用。更确切地说，探测围绕衬底区域中的、直至三个本文档来自技高网...

【技术保护点】
转速传感器(1)，该转速传感器具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)和相对于所述衬底(3)能运动的结构(5)，其中，所述转速传感器(1)如此包括用于使所述结构(5)从静止位置中与平行于所述主延伸平面(100)走向的第一轴线(X)基本上平行地偏移的第一激励单元，使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第一轴线(X)的方向的运动分量在第一频率振动，其特征在于，所述转速传感器(1)如此包括用于使所述结构(5)从静止位置中与平行于所述主延伸平面(100)走向并且垂直于所述第一轴线(X)走向的第二轴线(Y)基本上平行地偏移的第二激励单元，使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第二...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.17 DE 102015213452.01.转速传感器(1)，该转速传感器具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)和相对于所述衬底(3)能运动的结构(5)，其中，所述转速传感器(1)如此包括用于使所述结构(5)从静止位置中与平行于所述主延伸平面(100)走向的第一轴线(X)基本上平行地偏移的第一激励单元，使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第一轴线(X)的方向的运动分量在第一频率振动，其特征在于，所述转速传感器(1)如此包括用于使所述结构(5)从静止位置中与平行于所述主延伸平面(100)走向并且垂直于所述第一轴线(X)走向的第二轴线(Y)基本上平行地偏移的第二激励单元，使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第二轴线(Y)的方向的运动分量在第二频率振动。2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)具有第一探测单元(29)，该第一探测单元用于探测由于所述转速传感器(1)围绕平行于所述第一轴线(X)的轴线的转速和/或由于所述转速传感器(1)围绕平行于所述第二轴线(Y)的轴线的转速而沿着与基本上垂直于所述主延伸平面(100)走向的第三轴线(Z)基本上平行的方向以所述第一频率和/或以所述第二频率作用到所述结构(5)上的力。3.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)如此包括用于使所述结构(5)从静止位置中与垂直于所述主延伸平面(100)走向的第三轴线(Z)基本上平行地偏移的第三激励单元，使得所述结构(5)能够被激励以沿着基本上平行于所述第三轴线(Z)的方向的运动分量在第三频率振动。4.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)具有第二探测单元(31)，该第二探测单元用于探测由于所述转速传感器(1)围绕平行于所述第一轴线(X)的轴线的转速和/或由于所述转速传感器(1)围绕平行于所述第三轴线(Z)的轴线的转速而沿着基本上平行于所述第二轴线(Y)的方向以所述第一频率和/或以所述第三频率作用到所述结构(5)上的力。5.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)具有第三探测单元(33)，该第三探测单元用于探测由于所述转速传感器(1)围绕平行于所述第二轴线(Y)的轴线的转速和/或由于所述转速传感器(1)围绕平行于所述第三轴线(Z)的轴线的转速而沿着基本上平行于所述第一轴线(X)的方向以所述第二频率和/或以所述第三频率作用到所述结构(5)上的力。6.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)如此包括用于使所述结构(5)相对于衬底(3)能运动地悬挂的至少一个第一悬挂器件(35)和/或至少一个第二悬挂器件(37)和/或至少一个第三悬挂器件(39)，使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第一轴线(X)的方向的运动分量在第一频率振动和/或使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第二轴线(Y)的方向的运动分量在第二频率振动和/或使得所述结构(5)能够被激励以基本上沿着平行于所述第三轴线(Z)的方向的运动分量在第三频率振动。7.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述第一探测单元(29)包括至少一个第一电极(41)，其中，所述第一电极(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·拉斯尔，B·库尔曼，T·巴尔斯林科，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE