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本实用新型公开了一种用于样品形貌的检测装置，包括激光器、反射镜、光电二极管、控制器、扫描器、以及探针；激光器位于反射镜入射光的一侧；探针位于反射镜的下方；扫描器位于探针的下方；控制器具有第一接口、第二接口，第一接口与光电二极管的负极电连接，...
该专利属于翔鹰航空工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过翔鹰航空工业有限公司授权不得商用。

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