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嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法技术
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文档序号:17564001
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本发明公开了一种新型嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法,借助金刚石导热无方向性,以多尺度阵列通道提供厚度为支撑,在结构设计上实现生长毫米级厚度超高导热金刚石薄膜;最终制备出具有高导热率、低膨胀系数、好的绝缘性和高电阻率的超高导...
该专利属于青岛理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过青岛理工大学授权不得商用。
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