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一种高分辨率超长一维纳米图案制备方法技术
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文档序号:17560892
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一种高分辨率超长一维纳米图案制备方法,其特征是包括如下步骤:步骤1)在平整衬底(1)上交替沉积不可腐蚀纳米薄膜层(2)和可腐蚀纳米薄膜层(3);步骤2)切开平整衬底(1)、不可腐蚀纳米薄膜层(2)和可腐蚀纳米薄膜层(3),在断口选择性地对可...
该专利属于边捷所有,仅供学习研究参考,未经过边捷授权不得商用。
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