下载用于确定半导体电路的故障的导轨组件、设备和方法的技术资料

文档序号:17544986

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本发明涉及一种用于确定半导体电路故障的导轨(117)组件(100),其中,所述导轨(117)优选地布置在半导体电路的层上,其特征在于,所述组件(100)包括多个区段(112,113,114,115,116),其中,所述区段(112,113,...
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