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本发明提供一种缺陷检测方法，包括：对第一灰度信息和第二灰度信息进行比较处理，如果所述第二灰度信息与所述第一灰度信息不匹配，优化所述待测位置并重复所述第二图像获取步骤至所述第二灰度信息与所述第一灰度信息匹配时，获取所述第二图像。所述比较处理能...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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