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多密度图案投影仪制造技术
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文档序号:17534477
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本实用新型提供一种多密度图案投影仪,包括光源、透镜以及衍射光学元件,其中光源为VCSEL阵列光源,包括半导体衬底以及排列在所述半导体衬底上的4个独立控制的VCSEL光源子阵列,并且4个独立控制的VCSEL光源子阵列中VCSEL光源的数量依次...
该专利属于深圳奥比中光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳奥比中光科技有限公司授权不得商用。
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