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本申请公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法，包括蒸镀基板载具，所述蒸镀基板载具用于承载蒸镀基板，所述蒸镀基板载具上蒸镀基板所在的区域上方设有电磁模块，所述电磁模块包括多个电磁铁单元，所述多个电磁铁单元用于按照预定的顺序进行通电。根据本申请实施例提供...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。