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本实用新型公开了一种硅片用新型抛光装置，包括抛光装置壳体、三相驱动电机、超声波发生器和液体流出管，所述抛光装置壳体上方安装有保护轴承，所述保护轴承上方安装有传动轴，所述传动轴上方安装有所述三相驱动电机，所述三相驱动电机上方设置有抛光清洗槽，...
该专利属于浙江羿阳太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江羿阳太阳能科技有限公司授权不得商用。

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