下载一种井下瓦斯抽排装置的技术资料

文档序号:17496325

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本实用新型公开了一种井下瓦斯抽排装置,所述瓦斯传感器设置为电容式MEMS瓦斯传感器,当有瓦斯传输信号入射到振动薄膜,由于气压的改变引起振动薄膜产生形变,进而带动上电极和下电极间距改变,产生变化电容,从而实时监测瓦斯的抽排情况,具有灵敏度高的...
该专利属于贵州工程应用技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过贵州工程应用技术学院授权不得商用。

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