下载具有高的电子可运动性的晶体管的技术资料

文档序号:17490971

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本发明涉及一种用于制造具有高的电子可运动性的晶体管(100、200、300、400、500、600、700)的方法,该晶体管包括具有异质结构(103、203、303、403、503、603、703)、尤其是AlGaN/GaN异质结构的衬底(...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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