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本发明提供新颖光酸产生剂化合物。还提供包括所述新颖光酸产生剂化合物的组合物。本发明进一步提供制造和使用本文中所揭示的所述光酸产生剂化合物和组合物的方法。所述化合物和组合物可用作用于各种微制造应用的化学放大型阻剂组合物中的光活性组分。...
该专利属于贺利氏贵金属北美代顿有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过贺利氏贵金属北美代顿有限责任公司授权不得商用。

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