下载使用出口牺牲覆盖层在衬底中激光钻取通孔的工件和方法的技术资料

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公开了在衬底(100)中形成通孔(115)的工件(101)和方法。通过钻孔在衬底(100;105)中形成通孔(115)的方法包括将出口牺牲覆盖层(130)粘附到衬底(100)的激光束出口表面(112),将激光束(20)定位在相对于衬底(10...
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