下载掩膜装置的技术资料

文档序号:17487960

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本发明涉及一种掩膜装置,包括:掩膜板和遮挡件;掩膜板上均匀开设有若干通孔;遮挡件抵接于掩膜板,遮挡件开设有通口,通口的形状为不规则形状,通口对齐于掩膜板上的部分通孔,且通口与对齐的各通孔连通,遮挡件挡设于掩膜板上的剩余部分通孔。通过在掩膜板...
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