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一种微型薄膜外延结构层转移方法技术
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文档序号:17487912
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本发明提供一种微型薄膜外延结构层转移方法,包括如下步骤:制作外延层‑制作磁性金属层‑制作粘合层‑形成外延层单元结构‑去除掩膜层‑转移到中转基板上‑剥离衬底‑转移到吸头上‑转移到基板上‑布线;本发明通过磁性中转基板和具有磁性的转移吸头,可以实...
该专利属于江苏新广联半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏新广联半导体有限公司授权不得商用。
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