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本发明公开了一种含超薄金属氧化物薄膜介电层的晶体管及其制备方法，通过直接对栅极进行热氧化制备超薄金属氧化物薄膜介电层，使得超薄金属氧化物薄膜介电层与栅极有较好的界面接触，具有界面缺陷少，电学性能优良的特点，制备方法简单，能够极大地节省成本。...该专利属于佛山科学技术学院;佛山市格雷明光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山科学技术学院;佛山市格雷明光电科技有限公司授权不得商用。