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本发明提供了一种钌溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：将粒度≤325目的钌粉冷压成型，冷压压力为250～350MPa，得到钌坯；将钌坯进行抽真空至0.008～0.12Pa后以10～20℃/min升温至790～820℃，保温30～50min后，...
该专利属于清远先导材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清远先导材料有限公司授权不得商用。

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