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本实用新型公开了一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器。包括光纤，光纤的一端面设有反射镜；光纤的包覆层开有一法布里‑珀罗腔；采用皮秒激光脉冲对光纤包层进行加工刻蚀得到光纤微悬臂梁和加速度敏感质量块；在法布里‑珀罗腔一侧为一光纤微悬臂梁；光...
该专利属于李俊所有，仅供学习研究参考，未经过李俊授权不得商用。

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