一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器。包括光纤，光纤的一端面设有反射镜；光纤的包覆层开有一法布里‑珀罗腔；采用皮秒激光脉冲对光纤包层进行加工刻蚀得到光纤微悬臂梁和加速度敏感质量块；在法布里‑珀罗腔一侧为一光纤微悬臂梁；光纤微悬臂梁一表面成形一加速度敏感质量块；加速度敏感质量块与反射镜构成干涉型光纤传感器。本实用新型专利技术通过采用一根通信光纤集传感和传输于一体，实现加速度信号探测和传输，实现远程实时监测；并且，该传感器尺寸小，体积轻，适用于空间有限环境下的加速度监测需求；采用激光加工工艺用于光纤悬臂梁制造，速度快，易于规模化，能够降低制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器
本技术属于传感器
，特别是涉及一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器及加工方法，用于工业生产，军事及公共安全等领域对加速度信号的实时监测需求。
技术介绍
加速度传感器是利用物体的惯性性质测量物体运动情况的一类常用的一种传感器，广泛应用于地震，桥梁健康状况，工业机械设备安全监测等领域。输出与运载体的运动加速度成比例或有一定关系的信号。其传感原理基于牛顿力学第二定理：物体在外力的作用下将产生加速度，其大小与所加外力成正比，与物体质量成反比，与物体质量成反比，方向与作用力的方向一致。加速度传感器的种类繁多,从测试原理上可分为压电式、电容式、电感式、压阻式、隧道电流式、谐振式等等。多数加速度传感器是根据压电效应的原理来工作的，目前应用比较成熟的有电容式和压阻式加速度计。光纤加速计则采用光纤传感技术测量质量块的惯性力或位移。与前者相比，不但具有抗电磁干扰的独特优点，而且体小质轻，动态范围宽，精度高，能在恶劣环境下工作。光纤加速度计有很多种，如强度调制型、相位调制型、波长调制型。其中强度调制型和相位调制型的研究最多，应用也最广泛。强度调制型中的悬本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器，包括光纤(1)，其特征在于：所述光纤(1)的纤芯(102)一端面设有反射镜(106)；所述光纤(1)的包覆层(101)开有一法布里‑珀罗腔(104)；其中，所述法布里‑珀罗腔(104)一侧为一光纤微悬臂梁(103)；其中，所述光纤微悬臂梁(103)一表面成形一加速度敏感质量块(105)；其中，所述加速度敏感质量块(105)与反射镜(106)构成干涉型光纤传感器。

【技术特征摘要】
1.一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器，包括光纤(1)，其特征在于：所述光纤(1)的纤芯(102)一端面设有反射镜(106)；所述光纤(1)的包覆层(101)开有一法布里-珀罗腔(104)；其中，所述法布里-珀罗腔(104)一侧为一光纤微悬臂梁(103)；其中，所述光纤微悬臂梁(103)一表面成形一加速度敏感质量块(105)；其中，所述加速度敏感质量块(105)与反射镜(106)构成干涉型光纤传感器。2.根据权利要求1所述的一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器，其特征在于，所述光纤(1)为标准的通信光纤，包括单模光纤和多模光纤。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊，李明叡，
申请(专利权)人：李俊，
类型：新型
国别省市：安徽,34