下载一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置的技术资料

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一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置包括待处理的电池片、位于电池片上方的喷淋装置及抽气装置,所述喷淋装置为两组呈相对设置的喷淋装置,所述电池片置于两组喷淋装置之间,所述两组喷淋装置的两侧端均设置有抽气装置,在两组喷淋装置及四组抽气...
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